FS5001L系列气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感器芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。传感器采用表贴式安装，使安装尺寸更加紧凑，可以很容易的实现在小空间内的多传感器集成。
FS5001E系列气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感器芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。传感器采用表贴式安装，使安装尺寸更加紧凑，可以很容易的实现在小空间内的多传感器集成。
产品特点：1、传感器灵敏度高，有极小的始动流量
2、表贴式安装，结构紧凑
3、多种信号输出
4、零点稳定度高
5、全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性
6、低功耗、低压损
本次升级，采用了本公司第四代MEMS芯片，提高了产品可靠性，并改善了温度效应:但机械尺寸，电气性能等都保持不变，可以实现对 FS5001L的直接替代。升级后的型号为FS5001E。详情请查看产品中心。
附件：关于FS5001L系列气体质量流量传感器升级为FS5001E的通知.pdf