MF6600系列气体质量流量计

MF6600系列气体质量流量计应目前市场需求而开发，采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。长久以来，转子流量计大量应用于低成本的气体过程控制，但其采用光电数字转换的方式已不能满足对于精度、成本和数字化技术的发展要求。MF6600在机械安装尺寸上兼容转子流量计，实现高精度质量流量测控和多种数字远传及电池供电选项。