MFC1100系列气体质量流量控制器

MFC1100系列质量流量控制器采用公司专有的MEMS Thermal-D热量传感技术与智能控制电路，这种独特的质量流量传感技术消除了一些扩散率相似的气体的气体敏感性，并允许在编程后进行气体识别。本产品可用于动态范围为100:1的过程控制，其控制范围为0.1至0.8MPa（15至120 PSI）的压力和0至55℃的补偿温度。该产品的设计小巧，标准连接器为6~8mm快速接头，其他定制连接器可根据要求提供。