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FSP2000系列数字式双压力传感器
FSP2000系列数字式双压力传感器是采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感技术和芯片封装技术制作的,提供了一种独特的压差和压力(表压)组合输出形式。FSP2000的集成度高,空间小,可用于CPAP系统(持续正压通气系统)的测量和控制。CPAP系统目前的发展趋势是小型化,FSP2000中的压差传感器可用于流量测量,而压力(表压)传感器可为CPAP系统提供必要的压力反馈。
FSP
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000系列数字式微压差传感器
FSP
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000系列数字式微压差传感器是采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感技术和芯片封装技术制作的。FSP
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000的在低压差下有较高的灵敏度,具有唯独和海拔高度补偿,响应时间快,同时提供线性化数字(I2C)和模拟信号,可用于HVAC(暖通空调系统)和CPAP系统(持续正压通气系统)。
LM
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00系列液体流量计
LM
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00系列液体流量计采用公司自主研制的微机电热飞行时间传感器。产品量程比大于50:
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,稳定性好,温度性能好。应用领域包括各类半导体过程控制、分析仪器、制药过程控制、精密化学仪器、科研实验和医疗自动化等,还可以根据请求进行完全定制。
LF3000系列微液体流量计
LF3000系列微液体流量计采用公司自主研制的MEMS热飞行时间(TTOF)传感和封装技术制造。产品量程比宽,精度高,可靠性好。产品外壳材料为化学性能稳定的PEEK,独特的MEMS传感器芯片结构和特殊的封装技术使得传感器最大工作压力可达到
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.0MPa。应用领域包括各类微液体流量计量、分析仪器、制药过程控制、精密化学仪器、科研实验和医疗自动化等,还可以根据请求进行完全定制。
MFC4000系列气体质量流量控制器
MFC4000系列质量流量控制器采用公司专有的MEMS Thermal-D操作TM热量传感技术与智能控制电子设备,这种独特的质量流量传感技术消除了一些扩散率相似的气体的气体敏感性,并允许在编程后进行气体识别。本产品可用于动态范围为
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00:
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的过程控制,其控制范围为0.
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至0.8MPa(
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5至
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20 PSI)的压力和0至50℃的补偿温度。该产品适用应各类分析仪器及其他应用场景,标准连接器可选UNF或双卡套,其他定制连接器可根据要求提供。
MFC2000系列气体质量流量控制器
MFC2000系列质量流量控制器采用公司专有的MEMS Thermal-D操作TM热量传感技术与智能控制电子设备,这种独特的质量流量传感技术消除了一些扩散率相似的气体的气体敏感性,并允许在编程后进行气体识别。本产品可用于动态范围为
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00:
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的过程控制,其控制范围为0.
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至0.8MPa(
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5至
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20 PSI)的压力和0至50℃的补偿温度。该产品的设计便于更换机械连接器,标准连接器可选双卡套、VCR或UNF,其他定制连接器可根据要求提供。
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