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FS1015CL系列气体质量流量传感器
FS1015CL系列气体质量流量传感器 FS1015CL系列气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。测量范围最大到150SLPM，ISO 15mm连接方式适用于呼吸机、麻醉机等多种医疗设备。
FS5001L系列气体流量传感器
FS5001L系列气体流量传感器 FS5001L系列气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感器芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。传感器采用标贴式安装，使安装尺寸更加紧凑，可以很容易的实现在小空间内的多传感器集成。
FS6122系列医用CPAP传感器模块
FS6122系列医用CPAP传感器模块 FS6122系列医用CPAP传感模块是专为家用呼吸机的CPAP系统（持续正压通气系统）而设计流量传感器。传感器集成了MEMS质量流量芯片和MEMS压力芯片，从而为CPAP系统提供了必要的输出信号。传感器的封装非常小，采用入气口与出气口不同的ISO 22mm接口设计，在提供高精度和快速响应的质量流量和压力信号的同时，自身的压损和死腔也非常小。
FS7002系列气体质量流量传感器
FS7002系列气体质量流量传感器 FS7002系列质量流量/防堵塞传感器是采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类一般用途的清洁、干燥气体。独特的封装技术使之在相同的管径下可测量不同范围的流量，大批量生产以确保高可靠性，高性能和低成本。该传感器是专为快速测量流速变化而设计，适用于多种设备，如LCD投影仪的散热系统、空气清新机、各种仪器、通风管道或风扇马达等，可及时反馈散热系统过滤器的运行情况并防止因为堵塞而引起的异常情况。
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    矽翔微机电系统有限公司（矽翔公司，Siargo Ltd. ）成立于2003年，公司总部位于美国加州硅谷。矽翔公司是目前世界唯一生产具有自主知识产权、低功耗、超大量程MEMS气体流量计并使之产品化的厂商。其核心部件一MEMS流量芯片及其专利封...
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